作者：红桃三儿
“累計曝光時長，七分十二秒。”很快，他的助手報出的數據，就把他從惆悵中拽了回來。
“我知道了。”他淡淡的回了一句。
七分十二秒。
僅僅七分鐘的EUV曝光作業，這枚造價數萬美金，經過數十道精密工藝打磨的掩模，就已經報廢了。
在DUV的光刻體系裏，一枚合格的光刻掩模，需要支撐數十萬次甚至數百萬次的持續曝光，能夠耐受長時間高能光線照射，保持圖案精度的穩定。
而他們現在製作的EUV掩模，連十分鐘的穩定工作都無法實現。
“我們一共嘗試了三種鍍膜方案，兩種基底改性工藝，效果都不是很好。”另一邊，專門負責反射式掩膜研發的研究員出聲說道。
“無論是增加膜層厚度、調整鉬硅配比，還是表面抗氧化處理，目前來看，都無法抵禦高能光子的持續轟擊。”
羅伯特點點頭，沒有意外。
如果這麼好成功，也不至於從EUV光刻理論提出到現在，已經13年了，幾乎還在原地踏步。
現在的SVG，其實已經取得了巨大的成功。
“原理通了，架構通了，就是扛不住量產的損耗，但不管怎麼樣，至少我們證明了，這條路是通的。”
“光學污染那邊傳來好消息了？”對方驚喜的高呼了一聲。
貝爾實驗室那邊對光源的理論驗證成功他是知道的，現在他負責的反射式掩膜，雖然距離商用標準還有十萬八千里，可也驗證了用反射式掩膜完成光刻成像的可能性。
那麼三大難題中，就只剩下一個難題還沒有驗證過來，就是SVG和貝爾實驗室同步進行的光學污染研究問題。
甚至這個問題，比其他兩個問題更加的無解。
DUV光刻可以在低真空，常規無塵環境下穩定工作，輕微的雜質和氣流擾動，對成像精度的影響微乎其微。
但EUV不行，它的光子敏感度達到了極致，任何微小的雜質、氣體分子、微粒殘留，都會被吸收、散射、折射極紫外的光子，造成成像的畸變。
問題的關鍵是，只要設備開機咝校鸵欢〞a生微量濺射物，很多人這麼多年質疑EUV，覺得EUV光刻機不現實，就是認爲真空腔體無法做到絕對的零雜質。
“不能說完全成功吧，但至少已經有所突破了。”羅伯特嘴角不免的勾起笑了起來，繼續說道“我們的真空維持系統，已經能夠做到連續咝卸男r無明顯光學污染的程度了。”
馬里布，恩斯特得知這個消息的時候，正帶着凱絲巡視着這棟未來加菲爾德家族的住宅。
住宅前的噴泉廣場上，海風裹挾着太平洋的溼氣，拂過整片純白色的現代建築羣，向西眺望，湛藍的海面波光粼粼。
想一想以後每天早晨起來，面對的就是這番海天一線，景緻開闊的景色，倒是愜意。
現場的負責人告訴他，如果快的話，今年暑期過後，他們一家人就能夠搬入這個新家了。
慢的話，今年的聖誕節，他們全家也可能在這裏度過。
“也就是說，雖然距離工業量產還有着巨大的鴻溝，不知道什麼時候能夠實現，光源功率、掩模壽命、光學污染這三大難題短期內還是無法解決，但至少我們完整證明了，EUV原理的可行性，是吧？”
恩斯特低頭，對着手機聽筒輕聲確認道。
“沒錯。”電話另一頭，卡爾·韋勒的聲音傳來“整套技術的理論閉環已經徹底打通了，所有的核心架構和核心原理都經過了反覆驗證，沒有任何的漏洞。”
“等於我們已經找到了準確的路線，接下來，就是按照這個路線堅定的走下去，從理論驗證向工程產業化繼續突破就可以了。”
卡爾·韋勒頓了頓，短暫的沉默後，再度開口建議道“如果有可能，我覺得還是加入LLC聯盟比較好。”
“它們研發EUV的相關技術已經超過了五年，積累的實驗數據相當豐富，也一定有我們目前需要的技術儲備。”
恩斯特沉默着抬眼望向遠方的海面，他何嘗不知道加入LLC聯盟的巨大利好呢？
可問題是，現實的情況不允許他就這麼上杆子的加入呀。
“英特爾纔是LLC的絕對核心與老大，阿斯麥纔是它們會全程扶持的專屬光刻機企業。”
“我們想要加入進去，你覺得，我們能分到多少話語權？核心技術的主導權，會落到我們手裏嗎？”
“而且就算我們加入了進去，你覺得會付出什麼代價？”
“是放棄自主研發的主導權，是共享我們現在所有的核心實驗數據，還是是任由他們綁定我們的技術路線？”
卡爾·韋勒不回話了，這不是他應該考慮的事情。
他是純粹的技術人才，他的職責是技術上的突破和實驗攻堅，對於商業博弈，行業話語權的爭奪，甚至是陣營較量，那不在他的思考範圍之內。
“不過，現在我們有了這樣的突破，倒是可以以此來合作一下，不是嗎？”
“至少我們現階段的技術進度，確實走在了LLC聯盟的前面，手握着獨家的原理驗證數據，有足夠的籌碼和他們談判。”恩斯特笑着說道。
本來還想要繼續深聊幾句，不過在凱絲的催促下，他還是掛斷了電話。
“我在和你韋勒叔叔通電話，你也不消停一些，真是個小磨人精。”恩斯特颳了刮她的小鼻頭，一臉的寵愛。
“小磨人精纔好呀，傑西卡說，小磨人精纔會有人疼。”凱絲估計都不知道小磨人精是什麼意思，但還是奶聲奶氣的回答着。
“別聽她的，她可沒告訴你，小磨人精每天晚上可是都要被打屁股的。”
“啊~”
凱絲瞬間瞪大了眼睛，小嘴微微張開，發出一聲軟糯的驚呼。
兩隻小手下意識地緊緊捂住自己的小屁股，，可愛得讓人忍俊不禁。
別說美國人不打孩子，那都是快樂教育才會出現的情況，精英教育，小的時候還是可能揍兩下的，只是沒有那麼狠。
就比如凱絲，上次她將妮可·基德曼的女僕裝給約書亞穿上，就體驗了人生第一次的竹板炒肉，哭的稀里嘩啦的，現在聽到打屁股都有應激反應呢。
“那我還是不要當小磨人精了！”小傢伙用力的搖搖頭，小腦袋搖得和撥浪鼓一樣“我纔不要每晚都被打屁股！”
恩斯特哈哈大笑着彎腰將她抱了起來，低頭蹭了蹭她的發頂“走，我們去挑選種聖誕樹的區域。”
這是恩斯特剛纔聽取現場負責人的彙報，說最晚入住也不會超過聖誕節時，凱絲聽到聖誕節幾個字，就吵着要種一顆聖誕樹。
不過洛杉磯這個地方，雖然能夠種植聖誕樹，可經典的道格拉斯冷杉和最高端的銀尖冷杉都種植不了。
前者大面積存活在北加州山區，洛杉磯平地太熱了，基本很難養好。
而銀尖冷杉這種樹形最漂亮，針葉留香，深受加州本地富豪喜歡的高端聖誕樹，更是隻能長在內華達山脈上。
所以想要在馬里布這邊種植聖誕樹，只能選用蒙特雷松這種幾十年前加州聖誕樹的主力品種。
他的好處是長的快，樹形飽滿，而缺點就是到了乾旱季節，那針葉掉的和葛優一樣。
凱絲摟住恩斯特的脖子，聽到這話，瞬間一掃剛纔的緊張，眼睛亮晶晶的拍手說道“我要大大的聖誕樹！可以掛滿彩燈和所有禮物的那種！”
所有禮物？
那估計一顆聖誕樹可辦不到。
第1054章 風起雲湧
3月7日，一則震動全球消費電子行業的訴訟新聞，引爆了整個西方的輿論場。
加州本土一個名叫消費者權益律師團的組織，正式代理了加州消費者發起的一樁超大規模的集體訴訟，直接將八家全球頂尖手機品牌盡數送上了被告席。
其中包括了統治全球手機市場的絕對霸主諾基亞，通信領域老牌巨頭愛立信和工業科技標杆西門子等，無一例外，都是非美國本土的品牌。
加州中級法院在收到訴訟材料後，宣佈正式受理本案，敲定的首次公開聽證時間是十二天後。
到時候，八家被告的手機品牌，都要派人出庭應訴，接受質詢與消費者代表的問責。
不過沒有人覺得意外，之所以轟動，是因爲所有人都心知肚明，這不是什麼消費者維權的集體訴訟，本質也脫離了簡單的商業維權範疇。
這是歐美手機廠商之間博弈的全面升級，是一場披着司法外衣的宣傳戰，是行業洗牌戰的一部分。
不過要說最難受最憋屈的，還是摩托羅拉。
作爲美國本土手機行業的龍頭、曾經的全球通信霸主，在全美媒體輿論已經提前鋪好基調的情況下，摩托羅拉沒有選擇。
哪怕是稍有遲疑，都可能會被輿論扣上背棄本土產業，縱容外來資本掠奪美國市場的帽子。
所以摩托羅拉只能站隊納科，站隊北美本土陣營，哪怕它自己不想參與進納科和諾基亞的這場博弈，也知道自己下場絕對沒有在一旁看戲的收益大，也只能硬着頭皮往前衝。
就在全美都在討論手機行業風雲再起的時候，貝爾實驗室與SVG公司聯合發佈了一份里程碑式的技術白皮書，正式向全球半導體行業官宣，極紫外光刻技術物理原理完全可行，具備突破傳統光刻極限的絕對潛力。
這份白皮書，雖然在大幸曇把Y沒有得到多少關注，卻在行業內，震動了整個硅谷，乃至全球半導體產業。
別看白皮書的末尾，還是給整個行業潑了一盆冷水，表示現有技術體系下，EUV光源功率無法支撐工業量產效率，而反射式掩模壽命損耗過快，也代表着量產成本無法控制等難題。
可至少驗證了極紫外的可行性，在這條路上終於突破了理論驗證。
只要路找到了，完成了0到1的跨越，那麼1到100的進程，是很快的，剩下的所有難題，都只是時間、資金、工藝、材料層面的問題
“這個光線很重要嗎？”
馬里布別墅，傑西卡·阿爾芭蜷坐在沙發上，有些無聊的看着電視上的新聞。
家裏的女人，工作的工作，沒有工作的，今早都帶着孩子去了惠特尼農場，就留下了一個她自己。
至於她爲什麼沒去，那是因爲她要回家，給她父親過生日。
相比于貝爾實驗室和SVG發佈的學術報告，她倒是對於納科大戰諾基亞的手機大戰更感興趣，畢竟那是諾基亞，霸主的地位深入人心，哪怕是向來驕傲的美國人，也不得不承認，現在的諾基亞，纔是當之無愧的全球手機行業主導者。
可她不明白，這麼大個事情，恩斯特不關心，反而對於那個貝爾實驗室發表的什麼極紫外光的新聞很在乎，甚至嘴角都不自覺的勾了起來。
“很重要。”恩斯特回了一句，不過他更感興趣的是，這個LLC聯盟，會不會因爲這篇報道，在內部出現瓦解。
其實他之前一直都不明白，爲什麼這個美國人主導的LLC聯盟，不拉攏美國內部的光刻機企業，反而聯盟內唯一的光刻機企業來自於歐洲。
而且阿斯麥加入的時候，還是一個飛利浦旗下小的不能再小，根本就不受重視，就連辦公地點都在飛利浦集團最邊緣位置的存在。
難道這個LLC聯盟成立的初衷，不是扶持美國光刻機領域，打敗日本嗎？怎麼好像變成了幫助歐洲的光刻機企業打敗日本呢？
五年前，現在的光刻機領域還沒有阿斯麥什麼事呢，雖然也算是百花齊放吧，但都是小玩家，真正的現實就是尼康和佳能的兩強爭霸。
爲了對抗尼康和佳能爲代表的日本光刻機產業，美利堅這邊就再次耍起了不要臉，將冷戰的那一套又拿了出來。
在英特爾等廠商的遊說下，國會山進行了背書，於1997年由美國能源部主導牽頭成立了這個LLC聯盟，以英特爾爲代表，聯合IBM、摩托羅拉、AMD，外加勞倫斯利弗莫爾、桑迪亞、伯克利這三大美國國家實驗室，準備共同攻克新一代光刻機技術。
也正是因爲如此，所以纔有了二十年後，美國政府對華夏一系列的半導體出口管制的事情。
因爲整個EUV，美國的這三大國家實驗室，是分到了相關技術專利的，換句話說，美國政府都不需要動用行政命令，通過這些核心專利，就可以卡住整個EUV光刻機的生產脖子。
不光如此，這也徹底的將日本半導體產業，推向了繼續向DUV深耕的步伐。
其實這東西沒有什麼絕對，只是後來EUV成功了，統治了市場，但並不代表DUV的路線就不能走下去。
不過有時候狗命如此，美國人再次獲得了氣呒映帧�
而阿斯麥能夠從荷蘭的小倉庫起步，成爲全球光刻機跟半導體行業的扛把子，最大的功臣可不是什麼臺積電林本堅的沉浸式光刻技術，而是LLC聯盟。
正是因爲1999年阿斯麥加入了LLC，拿到了無數的資源、技術和好處，纔有了這兩年快速崛起的底氣。
LLC聯盟可不光是給阿斯麥提供各種最先進的技術，幫助阿斯麥解決各種難題，還幫阿斯麥協調了一大批的美國光刻產業的供應商，幾乎是將飯給喂到了嘴裏，換誰都能一步登天。
以前恩斯特不明白這個LLC聯盟爲什麼要扶持阿斯麥，現在他明白了，因爲阿斯麥把自己賣的更徹底，幾乎就是在給美國人白打工。
英特爾等公司獲得的阿斯麥股權先不說，阿斯麥還保證在美國建立研發製造基地，並且所有設備零部件的採購，來自美國供應商的採購份額不會低於55%。
等於從一開始，這個由LLC喂起來的阿斯麥，就已經被套上了狗鏈。
阿斯麥不管是關鍵的技術還是零部件，都離不開美國的廠商，所以這家荷蘭企業在後來聽美國這個乾爹的話比聽荷蘭這個親爹的話都要忠铡�
而且很多人可能不知道，其實真正掌控EUV光刻機核心技術的是英特爾，只是它現在將所有的精力都放在了造芯片上了，並沒有進入光刻機制造領域，這才扶持起了阿斯麥。
EUV LLC聯盟是英特爾牽頭拉起來的，整個聯盟總投入約2.5億美元，英特爾承擔了其中絕大部分的資金，其餘的AMD、摩托羅拉、IBM只是小份額參與者，95%的出資都是由英特爾來完成的。
所以資金就是最大的話語權，從這個項目立項，到研發方向、資源分配、設備採購，全部都由出資方英特爾來拍板，其他會員只是跟着投入少量經費，共享成果罷了。
整個LLC聯盟產出的關於EUV的核心專利超過150項，在後來LLC解散的時候，英特爾拿走了其中120多項。
而AMD、摩托羅拉等，只獲得了少量專利和非獨佔授權，阿斯麥更是隻能拿到限定範圍的技術許可。
至於爲什麼如此，其他廠家爲什麼不投入，還是因爲現在對於光刻機的要求，只有英特爾一家真的需要。
AMD的CPU和英特爾有差距，對於70納米及以下節點的需求不是很迫切，而摩托羅拉和IBM就更別說了，不管是手機芯片還是服務器，現在使用的製程都是成熟製程，而不是最先進的製程。
只有英特爾，需要更好的光刻技術，來擴大它在CPU上的領先優勢。
以現在臨界半導體的體量和影響力來說，是完全可以申請加入這個LLC聯盟的，但就像恩斯特回答卡爾·韋勒時說的，英特爾是絕對會對臨界半導體圍追堵截的，也不可能讓自己對這個聯盟的話語權旁落。
答應臨界半導體加入沒有問題，但開出的條件，肯定是恩斯特不能接受的。
既然如此，那咱們就各玩各的。
但彼此間的合作嗎，他是願意看到的。
今天的這份貝爾實驗室聯合SVG發佈的白皮書，就是在投石問路。
也像他所想的那樣，消息很快就傳到了英特爾的耳朵裏，甚至還引發了美國能源部的關注。
主要是現在美國的半導體產業，確實面臨着日系廠商的強勢衝擊，日漸凋零。
這主要就是因爲半導體核心的光刻機，美國人失去了市場。