作者：這肉有毒
都屏氣凝神，望著參與具體工作的幾位同志。
“開始粗對！”
沈永健的聲音低沉。
工作臺和掩膜版架在步進電機的驅動下開始微動。
很快矽片上的標記與掩膜版上的標記開始重合。
“粗對完成。”
“進入精對！”
隨著沈永健有條不紊的指揮，卓邵文緊聽其號令，在精調旋鈕上以幾乎難以察覺的幅度轉動。
十幾秒的精細調整後，兩個標記完美重合！
“對準完成！鎖定！”
卓邵文的聲音帶著一絲不易察覺的顫抖，額角已滲出汗珠。
“設定曝光劑量…啟動！”
話音落下的瞬間，高強度的汞燈光源再次提亮，經過複雜的光路系統和那個嶄新的高精度物鏡，將掩膜版上的精細圖形按比例縮小，精確地投影到矽片表面的光刻膠上。
被光線照射區域的光刻膠發生化學反應。
整個曝光過程只有幾秒鐘，但紫光透過觀察窗映在眾人臉上，氣氛莊嚴而神聖。
曹文三和曲嵩等人在一旁，下意識地嚥了口口水。
“步進！”
第一個區域曝光完成，工作臺在精密導軌帶動下，精確移動一個晶片的距離，將下一個未曝光的區域移動到鏡頭下。
對準系統再次快速進行區域性微調，然後再次曝光。
如此反覆，直到整片矽片的所有晶片區域都完成這一層圖形的曝光。
張偉森緊盯著控制屏上的進度條，顧江河則緊張地記錄著步驟。
12英寸的晶圓，光是一片步進曝光最終都耗時近一個半小時。
三片晶圓全都完成後，時間早已到了下午一點多。
曝光完成的矽片被吳培書迅速轉移至專用的熱板上進行短暫加熱，以穩定曝光圖形。
之後則被其放入顯影槽進行顯影工作。
一步步的流程之後，最終才進入蝕刻階段。
一直到晚上六點多，三片晶圓的流片工作才結束。
眾人無論是有操作工作的，還是車間內等待的同志，都已經空了一整天肚子。
但這會兒眾人非但不累，反而愈發激動與緊張！
隨著吳培書將蝕刻後剩餘的光刻膠徹底除去，清洗乾淨後的矽片被送到進口的高倍率顯微鏡下。
沈永健此刻已等在此處，調整著顯微鏡的焦距，進行最後的測試工作。
鏡頭在矽片表面緩慢移動，車間裡鴉雀無聲，只能聽到自己的心跳和呼吸聲。
每個人都死死盯著沈永健的背影和他放在目鏡上的手。
卓邵文，顧江海與吳培書等人也已退出操作區，等在邊上同樣大氣不敢出，眼神里滿是期待和忐忑。
時間一分一秒過去，沈永健看得極其仔細，在幾個關鍵區域反覆觀察。
由於低著頭的緣故，眾人雖看不到他表情，但卻能看到他眉頭不時的微蹙。
這沉默的幾分鐘對所有人來說都無比煎熬。
尤其是在沈永健緊鎖眉頭換第二片晶圓時，大家的心也跟著一點點往下沉。
都難得見沈總工這般嚴肅臉色，難不成是失敗了？
直至一刻鐘後，在沈永健將最後一片晶圓檢查完成，眉頭才舒展開來。
在眾人的注視下，嘴角微微向上揚起，眼中閃爍著光芒，聲音帶著一種如釋重負的喜悅。
“初次流片一共三片晶圓，第一片部分割槽域有毀損，算是失敗。”
“還好後兩片的圖形清晰，線條完整，套刻精準，符合流片預期。”
“我宣佈‘581-3’積體電路第一次流片…成功！”
第231章 計算器研製
沈永健宣佈的同時，自己心中也鬆了口氣。
天知道他看到第一片流片出現區域損毀時心中的壓力有多大。
好不容易經過四個多月，再加上前期近兩年的準備，一次失敗起碼又要等待一個月。
且其中消耗的資源和精力，包括對這工作本身的壓力只會更大。
還好，後邊兩片還算爭氣！
2/3的成功率，於流片而言已算是極為圓滿的巨大成功！
事實上，從流片本身驗證的性質來說，只要有一片晶圓能夠成功，也算是成功！
後續頂多是生產工藝或者部分原料上需要提高，而非積體電路的設計問題。
“呼~！”
低低的呼氣聲在車間內響起。
緊隨其後便是眾人高漲的激動情緒！
“成功了！”
“真成功了！？”
丁八一最先呼喊起來，這種在專業前沿領域的突破，作為還在本科階段學習的親歷者，那種見證歷史的感覺讓他心中說不出的振奮！
“真一次就成了？”
張偉森同樣激動，不過性格相對內斂一些。
目光望著沈永健低聲喃喃著，直至沈永健向他再次點頭，這才用手掌輕拍著一旁的顧江河。
而卓邵文早已緊隨其後站到他的位置，親自檢查著“581-3”的晶片。
“這段時間大家都辛苦了。”
“我宣佈明日起大家都休息，時間不定，你們自己的狀態調整完畢再回來工作。”
沈永健說罷，便又趕忙看向卓邵文。
“邵文同志，你這兩天再辛苦下，跟我總結完二代光刻機還有積體電路的資料再休息吧。”
步進式光刻機，“581-3”初代晶片，都是絕對的國際第一！
相關的技術與工藝資料自然需要總結並保密。
這次參與專案的同志雖然多，但真正知曉專案全貌技術的其實也就他跟卓邵文。
其餘如吳姐和周克勤也只是在分工的內容上有一定認知。
至於其他普通的研究人員，其實參與的內容很細，都是完成沈永健佈置的任務。
哪怕對積體電路有參與並具備一定認知，但實際的核心工藝同樣全然不知，暫時還道不明個所以然。
當晚，沈永健還請了眾人去吃了頓涮羊肉慶祝。
直到第二日，車間內安靜下來。
卓邵文總結著光刻機的技術檔案，沈永健自己則總結著積體電路的生產工藝，包括核心的一些容易犯錯的步驟都寫得很詳細。
卓邵文是從第三天開始休息的。
沈永健雖然總結文件也在差不多時間完成，但他手頭的工作卻並未停下。
第一個便是關於新一代的晶振以及陀螺儀的控制系統更新。
有了中規模的積體電路晶片，對於核導彈的研究可謂是質的提升。
搭載了晶片的嶄新陀螺儀和晶振，足以滿足近十年內的導彈更新換代。
當然，真到了那時候，估摸著他早已研製出了大規模乃至超大規模的積體電路。
晶振和陀螺儀控制系統的更新，沈永健是在十月底完成的。
有關這顆晶片的命名，早已由三機部上報院裡，得到的批覆便是“龍芯一號”，直接以華夏的淵源象徵命名。
在錢老專案的設計資料送過去後，沈永健也給自己放了一週的假。
一直到十一月初，沈永健才重新回到廠裡，投入嶄新的工作。
是他早就設想好的，關於電子計算器的研製。
沒錯，便是“龍芯一號”的頭一項應用實物，也是真正能提升國家基本計算水平的工具。
電子計算器，說白了就是前世早年間各家都會有的老式九鍵計算器，十分普及。
國內目前的計算，除了頂尖的超級計算機外，就只剩了算盤。
頂多個別科研所有進口的機械式計算器，龐大的機器宛若打字機一般，用起來其實並不比算盤好用到哪兒去。
除此之外，各研究所更多的還是依靠類似“計算班”的同志。
無論如何，皆說明計算對於眼下普通人民群眾而言，還是個具有一定門檻的事。
而這電子計算器，尤其是行動式的電子計算器，於國內絕大部分領域都是極好的提升！
哪怕是專業的工程技術人員，在進行研製工作時，也能省下大量的計算時間，用計算器按下等號鍵得出答案。
從普及計算，加速技術下沉的角度出發，沈永健對於計算器的研製很上心。
經典方方正正的模樣，九鍵數字與基礎的加減乘除，平方與開方。
在擁有晶片基礎上設計個計算器並無多少難度，僅僅大半天的工夫，沈永健便已經將計算器圖紙畫得七七八八。
唯一讓他暫時還沒法定下的，便是計算器的顯示屏。
以目前國內的技術，合適的只有真空的熒光顯示器，這東西其實與電子管比較相像，他們微電子廠也很容易研製，本身就跟電子管技術同源。
只是這麼一來這計算器的體積就大了，所謂的“便攜”變得一點都不便攜。
思索再三，還是考慮以發光二極體突破LED顯示，當然並未後世的那種高標準顯示，只是紅色LED七段數碼管，簡單的進行紅色熒光數字顯示。
當然就算是如此，這也是半導體相關的材料，攻破需要些時間，但卻能真正做到“便攜”。
也只有計算器真的便攜，這東西才能真正被傳播和普及。
沈永健思索LED技術時，卓邵文這會兒匆匆踏入車間內，手中拿著一本印刷精良的刊物，徑直走到他面前。
“邵文同志…是關於‘龍芯一號’還有什麼補充和想法？”
卓邵文自上週起便已回計算機研究所工作，不過晶片畢竟才研製成功。
眼下第二臺步進式光刻機還在組建，卓邵文每隔一兩天還是會回來廠裡，幫著進行研製工作。
只是今天這直奔他來的狀態，顯然是出了什麼事。
“沈工，這是軍區慣例訂購的國外期刊。”
“王所長今天才從檔案室調取，剛看過便讓我送來給你。”
“上頭…有最新的論文釋出，跟咱們上個月研究的內容一樣！也是積體電路的研製論文！”
“米國他們也攻克了‘平面工藝’，跟咱們一樣也研製出了積體電路。”
第232章 搶先公佈？
米國電氣與電子工程師學會（AIEE）的權威刊物 《電氣工程》。
熟悉的期刊封面風格，沈永健順著卓邵文的翻動，目光最終望向其所指的論文。
論文是以吉恩·霍爾尼的名義發表，不過實際致謝單位也註明了“快捷半導體”公司。
至於論文的標題與核心都直指積體電路，尤其是公佈了其團隊是第一個研發出積體電路的。
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