作者：這肉有毒
光刻機的組裝團隊依舊是原來的三人。
沈永健自己，卓邵文同志，包括廠裡的劉師傅。
沈永健原先的實踐水平一般，好在自林師長之前贈表後有所提升，當下手上的動作絲毫不慢於劉師傅，甚至同樣帶著點賞心悅目的感覺。
嶄新的特製汞燈被沈永健麻利地安裝在巨大裝置上。
劉師傅則圍著這大機器不斷進行基座的管線連線，如高純水，壓縮空氣，氮氣吹管，電力與控制訊號等等。
卓邵文則俯著身子，在整個工作臺上進行工具裝配和基本校準。
三人從早上六點多物鏡送到時便開始工作。
如今已是晚上的七點，中間除了一次吃飯和上廁所外，都一刻沒停過。
終於，卓邵文和劉師傅的安裝工作在差不多時間完成。
而沈永健正最後除錯著那關鍵的物鏡，安裝完成已近在咫尺！
第229章 步進式光刻機成功！
沈永健屏住呼吸，手中動作愈發沉穩。
特製的光學鏡頭被精密夾具懸吊，他不斷調整著微米級的定位螺桿，直至鏡筒與基座介面紋絲咬合。
“咔噠~！”
一聲低低的脆響在此刻穿透車間。
物鏡嚴絲合縫地嵌入光刻機主體。
“成了！？”
劉師傅乾啞的嗓子喃喃自語道，帶著汙漬的手在工裝褲上狠狠攥緊。
卓邵文蠟黃的臉上雙眼血絲依舊，自從負責光刻機後，對方一樣是這次專案研製中，投入精力最多工作時間最長的一位。
此刻目光緊盯著才組裝完成的步進式光刻機，心中既興奮又緊張。
餘下眾人站在數米開外，此刻同樣興奮。
沈永健當下並未著急，而是環顧這臺大傢伙周身，又細細檢查了一圈。
這才在眾人的注視下，按下了總控開關。
“嗡——！”
低沉的共振聲從機箱深處傳來。
汞燈的冷光霎時亮起，透過嶄新的物鏡在矽片承載臺上投下一圈光斑。
氮氣吹管嘶嘶低鳴，冷卻水迴圈系統平穩執行。
步進電機發出精準的“嗒嗒”聲，工作臺沿導軌滑出流暢的直線，控制面板的指示燈不斷閃爍後，最終平穩下來。
“邵文同志，先進行投影解析度測試。”
沈永健沉穩地發出指揮，卓邵文立刻到操作檯前，將校準掩膜版推入光路中。
下一刻汞燈亮度瞬間提了好幾度，經過多層透鏡組的聚焦，最終在投影屏上炸開一道深紫色的光錐。
而顯微鏡的目鏡之中，0.5微米的測試線條纖毫筆直，邊緣銳利。
顯然，北春光電所的物鏡完美達標，且這一路邅硪参醋屵@物鏡有任何的磕碰偏差。
“投影解析度測試通過！”
第一項最重要的測試通過，在場眾人都悄然鬆了口氣。
劉師傅更是咧嘴笑了起來，露出長期抽菸的黃牙，沙啞低語道。
“我就猜能過！”
“這臺可比咱們原先的機子亮堂多了！這光刺得我眼睛都睜不開！這要是都不通過都沒天理了！”
聞言，其餘同志也跟著附和起來。
沉悶凝重的場面一時間愈發緩和。
“下一項套刻精度測試。”
“這測試我們輪流來吧，曹文三你今晚先頂上，邵文同志，曲嵩，張偉森，顧江河你們按次序排，直到測試完成。”
套刻精度測試也是光刻機極為重要的一項測試。
不過其測試並非孤立，更像是機器啟用前的一整套初始誤差建模與補償模型組建。
相當於將整個曝光場的一整套序列曝光，提前檢測出實際的誤差，這些測試的誤差資料會由計算機計算後生成第一版標準誤差補償引數環境。
與炮彈實際發射的“修正本”有著異曲同工之妙。
只是這項工作可不是當天便能完成的，需要四五天的時間，眾人接力輪流完成。
“沈工！沒問題！”
“吳姐還有克勤同志，咱們趁著這幾天抓抓緊，將最後的版圖驗證完成。”
“爭取在這臺步進式光刻機測試完成後，開啟第一次的流片工作。”
到了積體電路，雖然工藝思路上還是‘平面工藝’那套，但實際的工藝和流程會複雜太多。
電晶體那時還無需“流片”，而到了積體電路這塊，流片算是整個積體電路成不成功的決定性標誌。
尤其是越大規模的整合，“流片”的難度也會以指數級上升！
五天後，國慶的慶典在首都剛過。
今年沈永健同樣受到了邀請，只是因為流片的掩膜版工作原因，最終是放棄了出席。
好在首都微電子廠還有張廠長作為代表前去出席，同時廠裡的二代電視機也再次成為獻禮產品。
一連三年，微電子廠已然成為獻禮專業戶。
當然，今年國慶獻禮之中最亮眼的並非是電視機或者冰箱這種家用電器，而是國內重工業的又一項突破，紅旗轎車！
報紙和新聞眼下的話題也全在這款自主生產的汽車上。
只是外界的一些紛紛擾擾，此刻都沒法打擾沈永健的工作思緒。
今日的保密研製車間內。
那臺銀色的龐大機器還在由數人連班接力，日夜不停進行測試。
其中套刻精度測試已經在今早完成。
這會兒上午八點多，研發處的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此處。
當照明均勻性測試的最後一組資料在示波器上定格時，屋外沈永健也帶著周克勤等人踏入。
卓邵文才將資料記錄，目光便立刻望向他，乾裂的嘴唇動了動，帶著振奮的沙啞聲線在車間內響起。
“畸變率0.12%，場曲誤差±0.18微米…”
“沈工！畸變與場曲測試，照明均勻性測試皆達標！”
沈永健接過他手中遞來的測試報告資料，一共五項檢測，資料悉數達標，甚至個別幾項還超過了他設計時的理論預期。
在反覆檢測之後，沈永健最終點了點頭。
在眾人希冀的目光下，最終振奮且堅定的開口宣佈道。
“同志們，咱們第二代步進式光刻機，研製完成！”
“依照目前的光刻機效能，絕對是國際第一！”
步進式光刻機，一個劃時代的光刻機。
在眼下國際上還只有接觸式光刻機，甚至發達國家的個別研究所還在用“土光刻機”的背景下。
這臺步進式光刻機，絕對是里程碑式的進步。
代表著國內光刻工藝第一次超越各國，坐上國際第一的位置上！
“呼~！”
卓邵文當下長舒了口氣。
光刻機的重壓一直由他擔著，四個月的各單位組織聯絡，協調生產與檢測工作。
直到今天，在沈永健這個眼下國內微電子領域的權威者口中宣佈落成。
當下最先感到的是一陣輕鬆，原先挺直繃緊的脊背也隨著長嘆鬆懈下來。
從最早的土光刻機，到如今的第二代光刻機，他早已將研究重心全放在這一塊上。
哪怕實際二代光刻機的圖紙並非是他主導，但能輔助設計最終由自己落實，他心中也早已滿足。
鬆懈下不過片刻，心中一股自豪感油然而生！
雙拳緊緊攥著，目光再度投向沈永健。
只是沈永健這會兒可沒像他這般放鬆，只是等眾人稍稍緩和後便立刻下達指令道。
“準備流片！”
……
第230章 流片成功！
沈永健的指令瞬間激盪在車間內。
剛剛因光刻機測試成功而鬆弛下來的氣氛，立刻被一種更緊張，更嚴肅的氣氛所取代。
二代步進式光刻機的製成雖然令人振奮，但於沈永健以及在場眾人而言，一切只是開始。
光刻機的研製一直都只是為了最終的目標，積體電路，也即初代的“晶片”。
承載著數百個電晶體，電阻，電容及其互連關係的整個“系統”的第一次實體化嘗試，真正的成敗在此一舉。
“偉森，江河，你們去把恆溫恆溼櫃裡的‘581-3’掩膜版取出來！”
“戴好手套，動作要穩！”
聞言，張偉森和顧江河幾乎是跑著去的。
小心翼翼地從特製的保護盒中取出那七片才製成的玻璃掩膜版。
五天的時間，最終的版圖驗證是在當天夜裡靠著102機論證成功的。
後續的掩膜版製成難度同樣極大，專門的特種石英玻璃也是哈工大雷校長上個月幫著突破的。
一共由307個電晶體構成的中規模積體電路，所需掩膜版一共七片。
每一片都代表著積體電路的一層結構。
倘若這次流片失敗，不光掩膜版的工序需推倒重新再來，甚至連原先的版圖包括最早的電路架構與設計都需要重新考量。
到底只是掩膜版工藝未達標，還有另外有系統性的漏洞，且沒法通過計算機進行錯誤排除。
可以說，這次倘若失敗，帶來的工作量極大，起碼還得一個月的時間才能進行下一次流片試驗。
而放到後世，超大規模的積體電路晶片研製，往往一次流片失敗，便是半年至一年以上的重新等待，是筆巨大的虧損。
“邵文同志，啟動淨化系統，檢查環境引數。”
沈永健目光轉向光刻機，開啟正式的工作安排。
卓邵文熟練的操作下，車間頂部加裝的空氣淨化系統發出低鳴，開始持續過濾著微塵。
“溫度22.5度，溼度42%，符合光刻要求！”
“克勤同志，上矽片。”
周克勤此刻也已守在小型操作檯旁，面前早已備好了數片經過嚴格清洗，氧化，並在塗膠機上均勻旋塗了光刻膠的矽圓片。
在沈永健的示意下，用真空吸筆小心翼翼地取出一片，精準地放置到光刻機的工作臺上。
工作臺在精密電機驅動下發出幾乎微不可聞的“嗡”聲，將矽片吸附固定。
卓邵文此刻也操作起控制面板，巨大的顯微鏡目鏡被降下，螢幕上顯示出矽片邊緣的對準標記。
張偉森與顧江河二人輪流將掩膜版極其謹慎地插入光刻機的專用夾具。
此刻車間內人雖不少，但卻靜得可怕。
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