作者:千越南秋
“讓他們安心等技術大會召開吧,到時候自然能有機會和我見面。”
“咱們僅是公佈了逐光極紫外光刻機研發成功,就在行業內引起了這麼多熱議,等後天大會上披露出更多技術細節的話,不知道又會引起什麼樣的地震。”丁順安僅是稍微腦補了一下,說話時語氣便止不住的激動和興奮。
“這個舞臺我們已經搭建好了,接下來也該逐光極紫外光刻機登臺表演。”
徐銘扭頭看向丁順安院士,嘴角掛着笑容,沉聲爲本次國際半導體技術大會定下核心基調。
轉眼兩天過去。
12月7日,週四,魔都國際會展中心。
早上八點多,進場位置早已聚集大量記者媒體,拍攝入場參加技術大會的人員。
其中阿斯麥首席執行官溫克姆和技術官布林克,以及新思負責人特德斯最爲受到各界關注。
而在到達內場之後,他們也終於如願見到了徐銘。
溫克姆不是頭一次聽說徐銘的名字,但當這樣一道年輕的卻攻堅了極紫外光刻機的身影,站在自己的面前時精神不由得有些恍惚。
明明認知告訴他,這種情況沒有任何可能性,現實卻又把臉拍的生疼。
不過很快想到自己這次的任務,頓時又對自家的極紫外光刻機產品充滿信心,伸手與之握手打招呼後,不忘特意強調了那麼一句。
“很高興見到你徐總師,你比我想象中的還要年輕。”
“歡迎溫克姆先生參加本次大會。”
“你們能在兩三年時間內,研發出逐光極紫外光刻機很讓人佩服,但我並不認爲你們的新技術,會比我們的產品更加成熟先進。”溫克姆口中不停道:“我們有着超過二十年的基礎物理創新和全球生態合作經驗,其技術深度和持續迭代能力是無可替代的。”
把溫克姆的話悉數聽進耳中,徐銘依舊保持笑容輕飄飄回應一句。
“對於溫克姆先生你的疑問,我想很快就能在這場技術大會上找到答案。”
……
第257章 從今天開始,遊戲規則變了【求訂閱】
徐銘同海內外,公司代表負責人打完招呼,便返回休息室養精蓄銳。
等待上臺演講。
面向全世界,展示逐光極紫外光刻機的技術性能。
他作爲項目總設計師,早就和逐光,以及璇璣系統深度綁定,加上這段時間行業內討論,自然沒有人比他更適合擔任主講人。
上午九點半。
在線上無數人的狂歡聲中,國際半導體技術大會正式拉開序幕。
會場燈光調製明亮的會議模式,主舞臺中間的巨大屏幕格外吸引眼球,臺下超過兩千個坐位近乎坐滿,前排的貴賓席上,微電子裝備的賀鵬濤和丁順安,華天科技董事長孫慶豐與華芯國際崔景和,以及阿斯麥首席執行官溫克姆新思特德斯等人落座。
連海外兩大晶圓廠,也派遣了人員出席參加。
可以說代表着整個半導體行業的權威。
他們彼此輕聲寒暄,氣氛如同行業間的非正式峯會。
當現場同聲傳譯間燈亮,工作人員就位,攝影記者在後排和走道調試好設備。
場內瞬間安靜下來的同時,科學院院長餘高遠,作爲代表上臺致辭。
很快按部就班說完後,念出首個演講的人員名單。
“接下來,有請阿斯麥首席執行官溫克姆先生,爲我們描述未來十年的光刻航線。”
溫克姆對自己首個演講並不在意,哪怕剛纔同徐銘進行了幾句交流,此刻神情依舊保持着輕鬆自信,對自家的極紫外光刻機胸有成竹。
他相信阿斯麥數十年基礎物理學,和全球供應鏈建立的護城河。
緊接着。
邁步走到臺上,面對底下觀虚_始發言。
“先生們,女士們……”
而對於演講的內容,則主要是展示自家最新發布的極紫外光刻機,包括穩定性與產能成就,以及光刻機部分精美部件圖片和測試數據。
所表達的目的只有一個。
那便是告訴全行業,阿斯麥依舊保持領先地位。
這是他參加本次大會的核心目的。
“我們的成功,源於與蔡司等行業夥伴數十年如一日的深度綁定,以及抬積電等晶圓廠共同進行的數千個工藝節點的調試。”
“阿斯麥不怕競爭。”
“最近我們也看到了一些有趣新方法,但半導體制造是科學,也是需要數十年積累的藝術,可靠性必須由時間才能檢驗證明。”
……
“我們不是在雕刻硅片,而是在雕刻行業未來。”
約摸半個小時左右的演講結束,伴隨着溫克姆話音落下的同時,場內也響起了一片會意的掌聲笑聲。
多爲海外半導體上下游企業。
甚至連特德斯,眼神中都浮現出幾分期待。
或許阿斯麥公司的產品,真的要比逐光極紫外光刻機更加先進。
畢竟具體性能如何,不單靠嘴上說說。
如果華方僅用兩三年時間,研發出的逐光極紫外光刻機並沒有想象的厲害,那對於他們乃至海外市場,無疑是件令人值得高興的喜事。
起碼行業能繼續保持穩定。
避免技術變革,所帶來的顛覆性衝擊。
然而當鏡頭對準國內這邊,尤其是賀鵬濤和丁順安以及孫慶豐等人,則絲毫沒有被溫克姆的演講影響。
臉上表情始終保持着鎮定自若的微笑,彷彿一切都在掌握之中。
不過與此同時線上直播間內,網友們則不需要顧忌任何人暢所欲言,對溫克姆的自欺欺人表示想笑。
彈幕刷新速度堪稱坐火箭。
“要是放在幾年前,我會說一句阿斯麥的光刻機設備確實牛逼,但現在只能講比着咱們還得努力。”
“行業經驗再多不還是7納米光刻機,想不到怎麼敢碰瓷逐光5納米的。”
“他不會真以爲,徐教授作爲總設計師的項目,其研究成果會搞什麼虛假水分吧?”
“還是對徐教授不太瞭解啊!”
“逐光單在技術上,就和阿斯麥不再一個層次了,其他的說再多也沒用,希望等會徐教授上臺對方不要聽傻眼。”
“從咱們逐光極紫外光刻機問世的那刻,整個半導體行業就已經被重新書寫了。”
“這場大會的主角只有一個,那就是逐光。”
“大家快看,徐教授上臺了!”
……
徐銘自然聽完了溫克姆的演講,對其所講的內容可以說絲毫不感到意外。
從剛見面打招呼時,他便感受到了,對方所展露出來的強烈自信,但比較遺憾的是,在絕對技術差距前,再多十幾年的行業經驗照樣沒用。
以前是國內技術落後,如今已然發生翻轉。
和溫克姆不同,徐銘穩步來到講臺中間,他身穿簡約深色正裝,沒有講稿和激光筆,頂着一張年輕且英俊的臉龐僅往那一站,便引起場內雷鳴般的掌聲,更使得許多人微微調整坐姿集中注意。
哪怕溫克姆和技術官布林克,都摘掉了眼鏡,用鏡布緩緩擦拭。
因爲無論逐光極紫外光刻機達到何種水平,單徐銘對學界的貢獻便足以被每個人尊敬。
這無關年齡。
徐銘此刻的神態,沒有任何挑戰者的張揚,反而帶着種問題解決者步入實驗室般的平靜。
他沒有寒暄耽擱時間,直接念出自己的開場白。
“在過去,光刻機的進化,是在一條既定的道路上,追求更快的馬。”
“而今天我想分享的,是我們爲何選擇,以及如何造出了一輛‘車’”。
說完。
背後的大屏幕中,並沒有展示芯片圖片,反倒是調出了一組對比鮮明的動態模擬圖。
左側爲傳統轟擊錫滴方案,右側則是逐光使用的全新極紫外光源系統。
徐銘側過身子看向屏幕,爲大家介紹的同時,還不忘在後面報出三個數字。
“相比較傳統的錫滴發生器和激光路徑,我們根據基礎物理學的新理論發現,設計出全新的極紫外光源。”
“它的能量轉化效率達34%,熱負載降低87%。”
“連續無維護咝袝r間,理論超過3000小時。”
首次在大會中披露出逐光的詳細數據,幾乎當聲音在會場落下的瞬間,臺下頓時響起陣難以置信的竊竊私語。
溫克姆以及技術官布林克,皆身體前傾,眉頭緊蹙。
身爲阿斯麥半導體設備首席執行官,他太清楚這些數據意味着什麼。
自家公司的工程師,爲提升幾個點的轉換效率,降低幾攝氏度的鏡片熱變形付出的代價,在這一刻似乎顯得有些近乎悲壯。
“原來是這樣。”
“難怪他們能解決物鏡系統的短板。”
他回想起華國研發光刻機,在物鏡上面一直以來的技術落後,先前還在疑惑爲何能如此快突破,現在才明白竟是憑藉全新的光源系統來進行彌補。
念頭停留在這裏,嘴脣忍不住微動,用僅能身旁布林克聽見的聲音自顧自低喃一句。
“這不是改進,是對光源物理的重新書寫。”
然還沒容他繼續思考,注意力頓時又被臺上,徐銘放出的新內容吸引。
“憑藉逐光極紫外光刻機,和璇璣算法工具,以及由我們自主研發的全新一代光刻膠共同配合,首次全鏈路流片驗證便取得圓滿成功。”
“設備綜合利用率98.7%。”
“預測良率98.3%。”
“實際量測良率99%。”
目光盯着屏幕中,那近乎一條直線的波動曲線,溫克姆臉上的自信徹底消失不見。
他下意識地看了眼身旁的布林克,發現後者正捧着筆記本電腦快速敲擊,似乎是在驗算着什麼,並且整個臉色越來越白。
公司最先進的工廠,要打成這樣的穩定性,需要多複雜的自適應調教,多麼漫長的工藝爬坡,他們兩個人可以說都非常心知肚明。
如此小的預測和實際測量誤差,完全違背了他們熟知的工業常識。
卻也說明對方已經具備成熟的系統協同。
毫不誇張的講,他們與海外卸嗫蛻簦瑪凳昴ズ辖⒌墓采鷳B,被這種更高效更封閉的內循環模式挑戰。
關鍵他竟找不到自家的任何優勢。
臺上的徐銘,沒有去關注其他人的反應,在最後他又放出了兩張測試芯片的電子顯微鏡照片。
正是逐光生產的5納米複雜工藝,以及阿斯麥公佈的自家7納米流片數據。
“請注意邊緣輪廓與接觸孔底部的形貌。”
徐銘從旁提醒着,隨之調出三維原子探針斷層掃描數據圖揭示細節。
能夠清晰看到,逐光極紫外光刻機產出的結構,側壁垂直度和界面粗糙度在統計指標上更優。
同樣半個小時過去,徐銘的這場演講,也以圓滿的結尾進入尾聲。
“我們研發的不是一臺光刻機,我們提供的,是一個確定的答案。”
“輸入設計目標,輸出製造結果。”
“其間的所有不確定性,由我們的系統消化,這就是我們定義的下一代製造。”
隨着徐銘徹底講完,場內掌聲立刻如海嘯般爆發。
久經不息。
但溫克姆卻聽不到。
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