作者：千越南秋
“所有裝置已經檢查完畢，符合實驗的條件，我們隨時可以開始。”
上午九時許。
總部大樓實驗室內，全副武裝的賀鵬濤，看向那臺搭建了一段時間的毫米級演示裝置，待完成相應的工作後立刻對總設計師進行報告。
雖然他早就入選科學院院士，但這次爲了實驗驗證的順利進行，果斷選擇親自動手參與實驗。
儘可能保證不出差錯。
同樣有此操作的丁順安院士，則正站在徐銘身旁。
“開始吧。”
徐銘對於這種重要場面，可以說早就司空見慣，聞言僅點頭吐出幾個字，臉上的表情始終保持鎮定，渾身散發出胸有成竹的自信。
使得周圍人安心不少。
賀鵬濤接到指令，轉過身看向身後的潘耀，讓其進行下一步操作。
“小潘，安裝光源靶盤，”
“是老師。”潘耀擲地有聲回答。
隨即在實驗系統控制室內幾人的注視下，硅基光源靶盤安裝到在演示裝置上，終於爲其拼上了最後一塊拼圖。
“好多年沒有像現在這麼緊張了，希望實驗的結果不會辜負大家的期望。”這時丁順安還是忍不住開口，在深吸了一口氣後纔算讓情緒穩定下來。
之前微電子裝備研發90納米工藝光刻機時，都未曾像今天這麼緊張過。
不知是海外那份文件給國內帶來的壓力，還是徐銘這幾個月以來，所展現出來的實力太過讓人震驚意外。
只能說在拉高了預期目標之後，越是容易患得患失。
生怕會出現不好的結果。
徐銘聽到丁順安院士的話，順勢扭過頭，臉上堆着淡淡的笑容接過話補充。
“放心吧丁院，我們前期已經準備的足夠多，相信實驗驗證絕不會讓大家失望。”
“說的沒錯，是我心態不穩了。”丁順安點點頭當即笑着附和句。
儘管他這個身份和年齡，竟還不如徐銘沉得住氣，但心裏面卻沒絲毫不適，畢竟以徐銘的水平，很難會去把他當做三十不到的年輕人。
哪怕年齡確實如此。
就這樣。
很快伴隨着驗證實驗正式開始，在腥说挠^察和各種監測儀器設備的記錄下，只見從激光設備中，發射出一束高強度且高重複頻率的近紅外激光。
在照射到高速旋轉的光源靶盤上後，激光在每一個點上瞬間激發耦合態。
輻射出穩定的極紫外光。
“各項數據怎麼樣？”
賀鵬濤最先反應過來，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大聲詢問具體數據，想知道最終結果究竟如何。
雖說包括徐銘在內的其他人，沒有再開口，但大家的目光無一例外，都集中在了潘耀的身上，因爲過度緊張甚至有人都快要屏住呼吸。
約摸過去了將近兩分鐘時間，潘耀的聲音終於在實驗室內響起。
能夠聽出其中夾雜着明顯的激動情緒。
“有結果了。”
“激光在光源靶盤上，成功激發出等離激元耦合態。”
“輻射出的光源波長爲13.5納米。”
“輸出光源穩定在50瓦，轉化效率突破15%。”
幾乎是潘耀話音落下的瞬間，整個實驗室內頓時爆發出雷鳴般的熱烈鼓掌聲，每個人臉上都肉眼可見的浮現出發自內心的喜悅。
“成功了。”
“我們掌握了穩定的極紫外光源，這是國產高端光刻機研發的一大步。”
“徐總師的設想是正確的。”
“很難想象首次實驗，轉化效率就達到了15%，這可比海外主流的極紫外光源技術高效許多。”
“簡直是在做夢。”
凡是抽調進光刻機專項研究組的成員，都屬於兩個光機所內的優秀科研人員，對極紫外光源的好處無比清楚。
但就是這樣決定着高端光刻機工藝的光源，在幾個月前對國內方面來說，還是可望而不可及的遙遠存在，只有海外的阿斯麥公司才能研發極紫外光刻機。
可此刻在微電子裝備總部實驗室內，卻誕生出了轉化效率高達15%的穩定極紫外光。
毫不誇張的講，這項成果無論放在哪裏，都是地震。
足以讓全世界感到喫驚。
待腥说那榫w逐漸平復下來，賀鵬濤依舊查看着屏幕中反饋的數據，隨後戀戀不捨收回目光，才直起身體看向面前的徐銘面色潮紅。
“太讓人驚喜了，採用新理論得到的極紫外光，已經遠遠超過海外主流的轟擊錫滴技術。”
“解決高端光刻機的核心光源系統，接下來我們的國產光刻機研發，肯定會迎來一段飛速發展的階段。”
“我提議應該立刻向外界宣佈此消息，讓海外知道華國有能力研發高端光刻機。”
對此旁邊的丁順安也沒保持沉默，聞言雖不願意破壞眼下的氣氛，但最終嘴脣微動還是跟在後面補充了句。
“可惜輸出的極紫外光，只穩定在50瓦，距離商用所需的250瓦還有差距，不過畢竟是首次進行驗證實驗，這個結果已經遠遠超出預計了。”
徐銘對此次驗證的成功並不意外，就連丁順安口中的功率問題也在預料之內。
主要今天的實驗，核心挑戰是新理論方法，是否能穩定輸出極紫外光，事實證明他的設想是非常成功的，要確定了這件事之後才能解決功率問題。
於是還沒等丁順安的遺憾情緒停留多久，他當即主動開口回應上一句，並未在這個時候還故意去賣關子。
“關於光源的功率問題，可以通過將光源靶盤設計成多環結構，讓多路激光同時激發來提升，應該能夠滿足商用的250瓦功率。”
……
第225章 以最強力的方式回應
隨着徐銘的話音落下，丁順安院士先是沉思，約莫過去小半分鐘時間，突然像是想到了什麼，猛地抬起頭臉上浮現出欣喜表情。
“好辦法。”
“讓多路激光同時激發，這樣一來的話，所產生的穩定光源功率定會提升。”
“達到商用的250瓦也就不是問題。”
他對於這次實驗驗證的結果，無疑感到很高興，既證明了徐銘提出的設想可行，又讓大家這幾個月以來的努力沒有白費。但礙於目前國內正遭遇的困境，他太過想要趕緊解決當下局面。
所以纔會對穩定極紫外光源的功率感到遺憾。
畢竟實驗功率，只有商用數值的五分之一大小，想讓其增長的話，仍需投入大量時間研究。
相當於又延長了國產高端光刻機的研發週期。
但他萬萬沒有想到，這個擔憂的問題，在徐銘口中竟顯得如此簡單。
彷彿隨時就能解決。
關鍵他在腦海中進行研判後，確定可行性很高，若採用徐銘的方法，就算達不到商用的250瓦，也絕對會比現在的數值高出很多。
無疑又是一個巨大的驚喜。
快速回過神來，他有些控制不住情緒，下秒主動向徐銘詢問確認。
“徐總師。”
“是不是你早就想過這個問題了？”
主要從得到驗證數據，到徐銘給出解決方案，前後連兩分鐘都不到，實在讓人無法相信，這是臨時剛想出來的光源功率應對方法。
而丁順安院士的這句話，也成功引起了，現場其他人的好奇目光。
紛紛凝聚過來視線。
連賀鵬濤院士也笑着附和道：“現在啊，我從徐總師口中聽到什麼都不奇怪。”
春城光機所研究多少年的核心光源系統，在徐銘這裏只用幾個月便驗證成功，讓他不免有一種先前都在研究什麼的羞愧感，若早換作徐銘來負責，恐怕現在國產高端光刻機技術早就領先全球嘍。
也不至於搞得像現在這麼被動。
徐銘聽完兩人的話，看向大家的目光，嘴角浮現着淡淡笑容如實回答。
“我確實考慮過光源功率問題，只是因爲多環結構的光源靶盤，設計研發難度會比正常高出不少，爲了儘快驗證這項理論設想，才暫時放棄了極紫外光源的功率。”
“有你這句話，我放心多了。”丁順安臉上堆滿笑容連連回答。
既然此方法早就在徐銘計劃裏，說明是經過比較周密嚴謹的推導論證，如此成功率也就有了保障，必然能夠解決穩定光源功率問題。
當高端光刻機最核心的光源系統，其技術被成功攻克並優化效率，那麼後續其它光刻機部分的研究，效率上就會暢快許多飛速進展。
想到用不了多久，首臺國產極紫外光刻機就能問世。
其心情可想而知。
“說實話我從來沒有想過，咱們的高端光刻機，能研發的這麼順利，看來我們對徐總師你的瞭解，遠遠不如餘院長知道的多啊！”
“幸虧餘院長選了徐銘擔任總設計師，否則研發進度肯定不會有現在快。”丁順安聽到身旁賀鵬濤的感慨，當即再次接過話茬附和一句。
徐銘則在承受了兩位院士的輪番稱讚後，只好戰術性輕咳兩聲，讓大家停止這個話題的討論，接着重新把交流內容轉到正事上面。
“現在我們才完成了極紫外光源挑戰，想要在海外阿斯麥公司之前，推出7納米工藝極紫外光刻機的話，還需解決不少的問題。”
幾乎是這番話從口中講出的瞬間，面前賀鵬濤和丁順安兩位院士，頓時神情有些怔住下意識輕聲低喃。
“比阿斯麥更先研發嗎？”
“我們的光刻機，真能直接升級到7納米工藝？”
哪怕後面的潘耀等研究員，眼中都閃出精光，毫不掩飾流露的嚮往之色。
作爲光刻機領域科研人員，對阿斯麥的大名，自然是如雷貫耳。
代表着現今人類光刻機技術的巔峯。
早在前段時間，阿斯麥就曾表示，正在研發新一代極紫外光刻機。
能夠用於7納米甚至5納米芯片工藝的光刻製造。
如果國內這邊，真能在阿斯麥公司前邊，率先造出極紫外光刻機，那麼便代表所擁有的技術，已經從最開始的落後變爲領先存在。
尤其國內這邊採用的極紫外光源，要比轟擊錫滴方式轉化率更高壽命更長。
對在場所有人來說，提起國產光刻機，腦海中浮現出來的只有那臺，90納米工藝的設備，很難想象技術直接過渡到7納米會是一種怎樣的體驗。可以說整個人像是打了幾針雞血亢奮的不行。
“不試試怎麼能知道到底行不行。”徐銘笑着說出這句話作爲回答。
立刻便得到了大家的認可。
“徐總師講的沒錯，誰說咱們就不行。”
“要是真能看到，國產光刻機領先全世界，我這個年紀也算沒有遺憾了。”
“我都想住在實驗室了。”
……
就這樣。
接下來的時間，腥擞掷^續借助演示裝置實驗，儘可能多蒐集光源的各項數據。
爲下一次光源功率問題實驗做準備。
另外值得一提的是，徐銘也沒有食言，第一時間把實驗結果告訴了材料院的張彥昂教授，並提到重新設計多環結構光源靶盤的任務。
對此張彥昂無比高興，當即保證會盡快完成。
而針對掌握50瓦功率穩定極紫外光源，在上報給科學院方面後，經過商議決定向外界宣佈此項研究成果。
讓海外方面知道，想用一份文件限制，來迫使東方妥協以此延緩科技發展速度，是不可能成功的事情，相反還會加快半導體先進技術國產化。
“不愧是咱們國家，多少年都難得一見的天才，才幾個月時間就做出了這麼大的成果。”
“果真沒有辜負大家對他的期望。”
科學院總部臨時召開的小型會議上，院長餘高遠難得在正式場合，不控制自己心底的喜悅連連誇獎。
縱使知道徐銘的真實情況，在國家許多重點科研項目上有着重大貢獻。
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