作者：千越南秋
“大家可以先研究討論下。”
“有什麼疑問，可以直接講出來，我好進行回答。”
會議廳長方形辦公桌旁，丁順安和賀鵬濤迫不及待的接過文件，並第一時間垂下目光查看，就彷彿是發現了什麼稀世珍寶一樣。
只想趕緊欣賞其中的美感。
早在前幾日的科學院總部的研討會上，他們便被徐銘口中的新設想吸引，認爲是一項全新的光源製造技術。
可惜礙於場合和時間問題，沒法進行詳細的報告。
本以爲會議結束後，就能立刻同徐銘討論，結果徐銘擔任了總設計師，以至於今天才有機會看到具體內容。
那肯定不敢有絲毫耽擱。
而除丁順安和賀鵬濤這兩位院士外，周圍還坐着不少三四十歲往上的身影。
他們均來自春城光機所和微電子裝備，屬於所內最有實力的教授研究員，參與了90納米工藝光刻機研發。
由於當日他們其中絕大多數人，因爲太過緊急，未能準時出席科學院總部的研討會，所以對徐銘提出的新設想是首次進行了解。
加上從來沒有面對過，如此年輕的總設計師，哪怕知道徐銘在數學和物理領域的成就。
心裏面難免會有些輕視。
畢竟術業有專攻，數學天纔來到光刻機領域，不見得立馬就能有很高水平。
特別若是沒有足夠的實力，身處這個位置，還有可能耽誤國產高端光刻機的研發。
潘耀今年三十歲出頭，他作爲賀鵬濤院士學生，在國產光刻機研發中，解決了一項難題，使得製造工藝順利達到了90納米，順利成爲春城光機所最年輕的正研究員。
被老師要求前往微電子裝備參與實驗時，他還以爲自己老師會擔任總設計師。
儘管對於徐銘的名字，他不止一次聽到過，承認對方的天賦遠比他強，可今天這場討論會剛開始，徐銘就直接拿出了實驗方案。
並對之前的光源技術全盤否定。
這讓他心裏不由得打鼓，不由得產生些許憂慮。
他之所以選擇投身光刻機領域，正是看到了國內高端芯片製造技術的落後。
擔心未來半導體行業的弱勢，會帶來影響。
怎奈沒有料到，海外方面的動作會這麼快，在國內光刻機還只有90納米工藝時，便迅速採取了限制措施。
面對這樣的困境，毫無疑問，他無比希望國產高端光刻機技術能趕緊突破。
但在注意到自己老師，以及丁順安院士的樣子，潘耀還是認真研究起文件中的內容。
“我倒要看看，你這個總設計師是不是名副其實。”
心中暗自低喃一句，很快便沉浸其中。
而隨着時間一分一秒流逝，他臉上的表情，也迅速不斷髮生變化。
從最開始的平靜，到眼中閃出驚喜，最後則只剩下興奮和激動，手掌都不知道啥時候緊緊攥在了一起。
“實驗方案竟然這麼成熟……可行性也很高。”
“這確實有可能獲得穩定的極紫外光源。”
整個人有些呆滯的輕聲唸叨，萬萬沒想到文件中的內容會和自己預料的差這麼多。
無論理論證明還是實驗分析，都堪稱論文級別。
如果不是今天剛看到，都要以爲是實驗報告，絲毫不誇張的講，只要按照這份文件展開實驗，基本上肯定會取得一定的收穫。
想到真有可能用新方法得到極紫外光源，他怎麼可能不振奮。
剛纔對徐銘的誤會早就拋之腦後。
在抬起頭看向徐銘時，只見自己老師以及丁順安院士同樣滿臉欣喜笑容。
“真是難以想象啊，僅僅幾天時間，就把理論完善到了這種地步，我認爲現在就可以正式開展實驗驗證。”
賀鵬濤深吸一口氣，率先開口向徐銘說話，眼中滿是欣賞和不可思議。
……
第223章 實驗驗證的核心挑戰
賀鵬濤身爲春城光機所院士，在光刻機核心光源系統這個領域中，可以說已經奉獻了小半輩子時間，要單論經驗絕對稱得上國內頂尖專家。
也正因如此，他才更加清楚，研發穩定極紫外光源的複雜程度。
作爲國際上公認的高端光刻機，極紫外光源可以說是必備的東西，沒有這種穩定且功率足夠的光源，就無法制造更精密工藝的芯片，儘管相關理論不是絕對祕密，但關鍵是能不能把光源搞出來。
而徐銘藉助等離激元耦合態理論，提出了一種新的極紫外光源設想。
相當於另闢蹊徑。
只要能完成實驗驗證，依舊可以獲得極紫外光源。
簡單來說的話，就是原本的方法，已然被海外半導體設備公司壟斷。
導致國內這邊無法實現突破。
在這種情況下，徐銘卻找到了其他道路，並且還更加高效簡單，所具有的意義可想而知。
不過賀鵬濤在今天之前，想的都是，大家先坐在一起對徐銘的設想進行完善。
儘可能的查漏補缺，也好減少實驗的試錯成本。
畢竟從一項大膽的設想，到具體的驗證結果，中間往往需要不少時間。
但他萬萬沒想到，看完徐銘完成的內容後，整個人直接就被震驚住，首次對真正的天才有了直觀的體驗。
徐銘僅用短短几天時間，便獨自完善了設想，相當於直接整了份論文出來。
面對擺在眼前的事實，賀鵬濤回顧過往，發現以前遇到的所謂天才，和徐銘竟沒有可比性，怪不得對方能在學界創造出這麼多奇蹟。
“原來真正的天才是這樣式的。”
說完心中暗自感慨一句，剛準備再開口，只聽耳旁又響起丁順安的聲音。
“徐總師。”
“你現在可是整個光刻機專項的主心骨，眼下工作纔剛剛展開，必須要注意好身體，保證睡眠多休息纔行啊。”
“下回不能這麼熬了。”
丁順安同樣看出了這份文件的含金量，心裏第一反應就是徐銘熬了通宵，否則實在難以想象是幾天的成果。
外界都說徐銘一個理論數學家，擔任光刻機項目的總設計師是瞎胡鬧，現在看來徐銘擁有的實力，要比在公忻媲罢宫F出口多的多。
徐銘把丁順安的話悉數聽進耳中，知道對方是在關心他的身體健康。
當即微笑着接過話茬回應。
“多謝丁院士關心，我會注意的。”
他這麼多年，每天幾乎都要學習十八個小時，其中還包括雷打不動的日常鍛鍊。
雖只用了幾天對設想完善，卻比其他人多很多時間。
況且在多線程並行思維演算推導下，若完不成的話那才真有問題。
“你們年輕人身體就是好，我和老賀就不行嘍。”丁順安點點頭微笑着打趣。
賀鵬濤接話道：“我可比你還小一歲呢。”
待互相閒談了兩句後，賀鵬濤突然面色嚴肅，用非常正經的語氣看向徐銘，重新把話題給引到了正事上面。
“徐總師。”
“我這邊已經準備妥當，隨時可以開展實驗。”
“微電子裝備也一樣。”丁順安補充道。
徐銘聽完兩位院士的話，又看向兩旁眼中浮現出炙熱目光的教授研究員，也終於不再賣關子，嘴角微微上揚拍板正式做出決定來。
“那好。”
“下面我來安排具體任務。”
他這幾天沉浸完善設想補充漏洞，正是爲了能儘快驗證極紫外光源。
只要解決了最核心的光源系統，那麼距離國內攻克高端極紫外光刻機也就不遠。
主要高端芯片涉及到的行業實在太多，還關係着很多先進技術的更新迭代，必須用最短的時間走出困境纔行。
否則較長時間待在這空窗期內，很有可能會再次被海外拉開差距。
尤其是六代機項目，好不容易纔與海外站在起跑線。
既然大家都沒有什麼意見，他肯定也不會耽擱，話音落下後便直接安排起來。
……
極紫外光源被稱作難以駕御的微光，海外方面的主流技術是採用激光激發等離子體，需要用高功率激光，以每秒數萬次的頻率轟擊滴下的液態錫滴，將其激發成等離子體從而發出極紫外光源。
但由於過程的能量轉換效率極低，要滿足芯片量產所需要的曝光速度，其功率必須達到250瓦以上，這意味着輸入的能量是巨大的。
除此之外整個光路還要在真空環境中進行，使得系統複雜性大幅度上漲。
再加上錫滴方案產生的碎屑，更讓極紫外光源系統成爲科研人員的噩夢。
而徐銘的設想，則是對系統重新架構。
相比較主流方法的動態轟擊液體錫滴，他採取了靜態激發的方案。
用一束高強度和高重複頻率的激光，照射在高速旋轉的光源靶盤上，如此通過等離激元耦合態理論，激光能夠在每一點上瞬間激發耦合態，從而穩定以及高效的輻射出極紫外光源。
不但繞過了海外的專利壁壘，還更加高效且規避了錫滴碎屑帶來的苦惱。
有助於延長光源的壽命時間。
隨着徐銘同腥耍诰唧w實驗上展開討論，原本大家困惑的東西也立刻變得清晰起來。
內心激動之下，毫不掩飾臉上浮現出的期待。
“關於光源靶盤的製造，需要覆蓋特殊薄膜，可以拜託給材料院幫忙研發。”
“其餘我沒有任何意見。”
賀鵬濤全程認真聽完徐銘的所有話，待相關任務安排全部講完之後，率先開口提出自己的觀點表明態度。
話音剛落。
旁邊的丁順安也未沉默，立刻接過話茬附和。
“我同意老賀的提議，交給材料院，會在很大程度上節省我們的時間。”
“這樣我們能更快進行驗證。”
徐銘對光源靶盤的材料設計早有方案，從某種程度上來說製造困難性不算太大，無非是經歷多次的失敗。
本來他還想着親自來負責光源靶盤的製造，但聽完賀鵬濤和丁順安兩人的建議，頓時便覺得交給科學院旗下的材料院負責，倒也是項更加合適的辦法，剛好他也能抽出時間和精力負責其他的。
雖說科學院整合的是國內的光機所資源，但如今國產光刻機專項項目，那毫無疑問屬於當前重點中的重點。
其他研究所都要無條件配合。
就算到時候製造不順利，他也能再過去指點。
思維快速咿D下，徐銘沒有任何遲疑，當即點頭同意了這件事情。
“可以。”
“那麼接下來大家各自開始準備吧，這次我們的核心挑戰就是，在實驗室組建毫米級的演示裝置，將之變成能產生足夠功率的極紫外光的實用光源。”
最後鄭重說完這番話，也標誌着上午這場討論會，圓滿結束落下尾聲。
參加會議的每個人，可以說都是項目核心人員，因此纔剛剛散會，便已經迫不及待返回工作崗位，着手開展自己被分配下來的工作。
徐銘作爲此次專項的總設計師，在微電子裝備總部這邊也設立了辦公室。
然就當他準備過去時，卻被身後傳來的聲音打斷。
“徐總師，請等一下。”
聞言他轉過身望去，只見位三十出頭的高個青年，正快步向他小跑過來。
早在召開這場會議前，徐銘就抽時間，看了一遍核心成員的詳細資料，對大家提前有一個瞭解也好更加合理的分配工作任務。
所以僅注意到對方的身影，便認出是春城光機所的研究員潘耀。
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