作者:今月曾经照古河
第一,中繼鏡組中的非球面反射鏡,需要將面形精度控制在50皮米以下,表面粗糙度得低於0.1納米的均方根誤差。
換句話說,這相當於要求一塊徽安省大小的區域,整體起伏不能超過一張A4紙的厚度。
難度可想而知!
目前,全球僅有燈塔國的賽高、德國的蔡司具備相應水準的鏡面拋光工藝。
可受到瓦森納協定的限制,即便花錢買,也拿不到供貨名額。
而哈工大、國防科大和華科協會長春光機所,儘管擁有離子束拋光與磁流變拋光技術,理論上能實現原子級的面形精度,但現實與理論往往存在巨大落差。
這就好比問,國內能造出F1賽車的發動機嗎?
按理說,華國不缺能生產金屬活塞和氣缸的工廠,也清楚內燃機的製造原理。
但F1賽車發動機並非單一部件的簡單組合,它是材料學、精密加工、熱力學、電子控制系統等頂尖技術的集成體,且對轉速、熱效率和可靠性的參數標準達到了行業極致。
由此可見,技術原理懂了,要落地到穩定的實際生產中,仍有難以逾越的鴻溝。
明白是一回事,造出來又是另一回事。
第二,鏡子打磨完成後,還得在表面鍍上40到60對的鉬、硅交替薄膜層,且每層厚度的誤差都需控制在原子級別。
鍍膜環節所需的磁控濺射技術,國內雖有不少研究所已掌握,但在均勻度和精細度上,仍然不符合EUV光刻機的使用需求。
此外,如何精準檢測鏡面光滑度也是個難題。
沒有測量,就沒有加工!
檢測能力決定了拋光水平的天花板。
2014年華國在高精度干涉儀領域,特別是用於EUV波段的檢測設備和技術,根本達不到50皮米的測量精度。
而林南和汪象朝等上百位研發工程師,已是光學賽道的佼佼者,連他們都搞不定的事,再找其他人,大概率也無濟於事。
他們盡力了,只是能力有限。
陳延森心裏清楚,他要是不出手,這場科研大會戰多半要成爲一個笑話。
他略一思索,便讓林南先把離子束拋光、磁流變拋光和磁控濺射的技術文檔發過來。
與此同時。
滬城,星源科技光學研發中心。
林南倚在實驗臺前,雙眼滿是紅血絲,神色黯淡。
汪象朝坐在一旁,拍了拍林南的肩膀說道:“彆着急,車到山前必有路,慢慢啃唄,既然方案都有了,還怕搞不定工藝問題?”
滬城光機所的一名專家點頭附和道:“以前我們不需要皮米級別的拋光精度,所以技術進展就慢,現在不一樣了,只要搞定照明系統的非球面反射鏡,這EUV光刻機的光學系統,就等於拿下了一半的核心技術。”
話雖如此,實驗室裏的氣氛卻沒怎麼緩和。
林南苦笑一聲,指着桌上的檢測報告:“道理都懂,可現實擺在這裏,我們的儀器測試精度僅有亞納米水準,面形精度夠不夠,壓根不知道。”
這無異於閉着眼睛走路,方向對不對都不確定,怎麼提升?
燕京光電所的年輕工程師語氣哽咽,一臉絕望地小聲呢喃道:“難道沒有國外的技術支持,我們就造不出EUV光刻機的核心部件嗎?”
這話就像一根鋼針,把所有人的信心都給戳破了。
“放屁!人家花了幾十年積累的技術,我們才用了幾天?這點耐心都沒有嗎?”
汪象朝猛地站起身,大聲反駁道:“一個月時間,我們就把照明系統的方案推演出來了,這說明思路是對的。
我已經和長春、燕京光機所的人溝通好了,接下來大家齊頭並進:咱們先攻堅投影物鏡系統,等拋光和鍍膜技術達標後,再整合各項技術,總能把這塊硬骨頭啃下來。”
他的話像一劑強心針,讓實驗室裏低迷的氣氛稍稍回暖。
林南深吸一口氣,跟着站起來說道:“汪老說得對,咱們先按照分工,集中精力攻投影物鏡系統的光路設計。”
滬城光機所的專家立刻拿出圖紙,指着上面複雜的光路結構:“投影物鏡得把照明系統過來的光束精準聚焦到晶圓上,而且要消除各種像差,這對鏡片的曲率精度要求比反射鏡還高。
我們之前設計的光路,在模擬環境中還存在0.5弧秒的像差偏差,得再優化。”
汪象朝湊到圖紙前補充道:“我查過資料,蔡司的投影物鏡用了15片高精度鏡片,每片的面形誤差都控制在20皮米以內。
我們要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下,後續工藝跟上,說不定就能趕上他們的水平。”
幾人越聊越投入,當即圍着圖紙和電腦忙碌了起來。
汪象朝負責調整光路模擬參數,林南則帶領幾人覈算鏡片曲率與像差的對應關係,剩下的研發人員也連忙壓下此前的負面情緒,將精力快速投入到各自的工作中。
……
……
次日一早,陳延森給陶靜文打去電話,藉助孟遠志的關係,拿到了一張廬州科大的通行證,可自由進出光電實驗室。
鏡面拋光和鍍膜工藝,都得在實驗中不斷完善,才能找到優化方向。
光靠理論推算,是得不出結果的。
同一時間,林南也抽調了一批擅長超精密拋光技術的研發人員,派往廬州。
當劉峯俊等人進入廬州科大的光電實驗室時,剛好看見正在更換潔淨服、佩戴無塵乳膠手套和無塵口罩的陳延森。
他不是森聯資本的創始人嗎?
爲什麼會在實驗室裏?
“劉先生,幸會!”陳延森停下手中的動作,徑直朝劉峯俊走去,隨即伸出右手說道。
“陳先生,您好。”劉峯俊雖然有一肚子的疑問,但他也不好直接發問。
他是國防科大超精密加工團隊的高階研究員,博士學歷,智力不俗。
有這樣的素養,就註定他不會說出低情商的話。
“實驗室剛調試完離子束拋光機,正好你們來了,一起看看參數。”
陳延森收回右手,指向旁邊的操作屏,上面跳動着密密麻麻的數據流,隨後接着說道:“你們在滬城製作的鏡面粗胚我看過了,硅基材質純度夠,初始面形誤差還有3納米,得先過磁流變拋光做預處理。”
劉峯俊瞳孔微縮,心中巨震。
他下意識走到操作屏前,目光落在磁流變拋光的預處理參數上。
令他頓感驚訝的是,屏幕上不僅清晰列出了不同轉速下研磨液的顆粒度配比、磁場強度梯度曲線,甚至還標註了“預處理後誤差需控制在500皮米內”的明確節點。
“陳先生,您提前算過硅基材料的應力釋放曲線?”
劉峯俊忍不住地追問道。
要知道,硅基鏡面在研磨過程中會因應力積累產生微小形變,這是超精密加工領域最棘手的難題,也是國內各大高校、研究所遲遲未能突破的技術障礙。
如今,竟在這裏見到了解決方案。
他在該領域浸淫多年,正因爲他懂,才知道這組參數背後藏着多少巧思。
陳延森微微頷首:“硅基材料的應力釋放有滯後性,預處理時得留0.3%的補償量,不然拋光後冷卻會出現回彈誤差,先做事,有疑問隨時問我。”
“小王,按這個參數調磁流變拋光機,先測第一塊粗胚的應力分佈。”
劉峯俊轉頭對身後的研究員吩咐,聲音裏帶着難掩的急切。
陳延森沒再多說,轉身走向另一臺設備。
接下來的一段日子,劉峯俊跟在陳延森屁股後面打轉,完全是一副學生、助手兼跟班的姿態。
他越深入瞭解,越能體會到陳延森在超精密加工領域的驚人天賦。
曾幾何時,劉峯俊也是高考狀元,還考進了國防科大的少年班,在同齡人中屬於科研天才,但在陳延森面前,卻猶如蚍蜉望青天一般。
陳延森每天只會在廬州科大待兩個小時,大部分工作由劉峯俊等人承擔。
他們先開發了子孔徑拼接技術,繼而引入計算全息片技術,並通過配備原子力顯微鏡和光學散射儀,率先把檢測精度提升到了皮米級別。
消息一出,滬城光學部的研發中心,所有人的精神瞬間爲之一振。
畢竟有了測試工具,工藝改良就有了正確的方向可循。
另一邊。
清華、華科協會儀器研製中心和北方微電子科技,在獲得最新版的磁控濺射技術後,立即開始了靶材和鍍膜設備的研發工作。
然而,首個難關就卡在了鉬硅材料的純度與微觀結構的均勻性上。
陳延森在得知後,把真空熱壓燒結和等離子體緻密化技術結合在一起,立馬就打通了靶材純度和結構上的擁堵點。
瓶頸一破,後續研發便如打通了任督二脈。
照明系統的研發進度突飛猛進!
第627章 再贏一次,徹底把阿狸踩在腳下!
轉瞬之間,月末已至。
碧湖云溪,六號別墅內。
陳延森躺在水池旁的搖椅上,手裏拿着一臺曜橙 X2 Plus,畫面中是噹噹網的李國慶,正在賣力地吆喝着。
上週四,柳強東第三場直播賣了1.3億成交額,導致李國慶再也坐不住了。
要知道,2014年的當當網,日均銷售額也就3000多萬,靚仔東在直播間動動嘴皮子,三個小時就完成了噹噹網四天的銷售額。
他老李要是不賣貨,那不成傻子了嗎?
因此,繼柳強東之後,李國慶也加入了直播賣貨的行當。
這時,有網友在彈幕上問道:“李總,前兩年你說亰東的資金鍊會斷裂,可如今亰東市值逼近400億美幣,噹噹網只有9億美幣,你怎麼看?”
李國慶瞥了一眼,臉色一滯,權當沒看見。
他能怎麼看?
扎心唄!
噹噹網一沒大哥,二沒多少現金儲備,打也打不過,所以只能在網上過過嘴癮,在鬥音和微博上調侃柳強東幾句。
網友見他不吭聲,只顧着賣貨,便不斷刷屏。
李國慶無奈,聳了聳肩說:“亰東傍上了拼唄,老柳也有了大哥,流量充足,資金充沛,噹噹網確實沒法比。”
語氣酸溜溜的,差一點溢出屏幕來。
“不說老柳了,大家瞧瞧我手上的這瓶酒,出自五糧液原廠,原價一瓶498元,今晚在我直播間,一箱六瓶,只要99元!”
李國慶話鋒一轉,侃侃而談地介紹起了商品賣點。
有一說一,不愧是燕大的高材生,愣是把這箱價格與老村長相差無幾的低端酒,吹得天花亂墜。
三分鐘後,銷量迅速飆升,很快就突破了3000單。
陳延森見狀,笑着搖了搖頭。
在2014年搞直播賣貨,的確屬於藍海市場。
這時的網購用戶,還沒經受過電商黃金期各種營銷套路的洗禮,對李國慶這樣的企業家、億萬富豪仍心存濾鏡。
一聽原價3000元一箱的酒,現在只需99元,自然是瘋狂下單。
造孽啊!
陳延森暗暗吐槽。
噹噹網入駐了拼唄,李國慶在鬥音賣貨,一來要花錢買流量,二來要繳納技術服務費,三來能爲拼唄創造額外業績。
說白了,噹噹和李國慶都是“打工仔”。
看了一會後,陳延森關掉鬥音,接着點開了微視,同樣有人在直播賣貨。
馬文騰不死心,回到深城以後,又把QQ團購、拍拍網和易迅網的商品池導入了微視,學着鬥音、快手搞起了直播賣貨模式。
隨手翻了幾個直播間,觀看人數僅有幾十個,由此可見,微視的日活數據之低。
“老闆,洗澡水放好了。”一道軟糯多汁的聲音,從客廳飄了出來。
然後是一陣窸窸窣窣地腳步聲。
陳延森翻了個身,正好看見踱步走來的葉秋萍。
葉師傅穿着一條真絲睡裙,身段若隱若現。
夏日的晚風一吹,一股淡淡的奶香氣便鑽入鼻間。
陳延森沒說話,衝她招了招手。
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