超维科技纪元 第76章

作者:岭南仨人

神光仪器公司的安保比之前严格了许多,另外还配备了五只中华田园犬,毕竟光刻机技术太敏感了。

空旷的顶级无尘装配室内,高致远亲自带着上百员工、几十个研究员在忙碌着。

而在一旁的测试室内,第一台X射线光刻机,正在不断的测试和调整,毕竟是初代产品,大问题或许不多,但是小毛病铁定少不了。

黄明哲带着黄安国和那十几个专家,在更换了专门的工作服,又通过除尘、除静电等清洁,最后才进入测试室内。

一众专家一进入测试室内,便被陈列其中的X射线光刻机吸引住。

“黄总工,X射线光刻机的X射线辐射剂量是什么标准”其中一个专家连忙问道。

这个问题非常重要,X射线的穿透力非常强,如果辐射剂量超标,那员工的身体必然出问题。

“这是辐射剂量检测仪,你们可以测试一下。”

几个专家操作起一台精度超高的环境辐射检测器。

[0.003602mSv]

“好小,只有0.003602毫西弗。”

“其他位置也测试一下。”

其实是由于X射线光刻机的光刻胶光敏性非常高,导致X射线激光器的功率非常小。

加上之前在研发光刻胶的时候,材料研究所制造了一些副产品,其中就有可以吸收X射线的材料。

神光仪器在设计的一开始就非常注意X射线辐射的问题,他们利用这种材料,制造了一些可拆卸的辐射吸收隔板。

这些隔板可以吸收绝大部分散射出来的X射线,从而减少X射线对于周围环境的辐射剂量。

尽管这样做,需要隔一段时间更换一次隔板,但是至少员工不会因此辐射超标。

其实目前这个辐射剂量比医院的X光片(0.1mSv)、CT(2~15mSv),那是小得非常多,就和我们日常看电视受到的辐射剂量差不多。

加上工作人员的防护服也是神光仪器自己改造的产品,可以进一步阻挡X射线,所以这里的环境辐射,和外面环境已经没有太大差别。

“整体符合预期,环境辐射剂量在0.0032~0.0047毫西弗之间。”

负责记录的官方人员连忙将数据记录在表格上面。

接下来才是重头戏,这些专家们借用神光仪器的设备,检测了光刻机的精度以及其他各项参数。

单单是这个工作他们就进行了一个多星期,主要是为了确保万无一失,免得到时候成为一个国际笑话。

第六十八章 横空出世

“黄司,通过我们专家组15名成员的一致检查,神光仪器公司研发的X射线光刻机符合申请材料描述的情况。”专家组组长高兴的说道。

黄安国心里面的大石终于落下,他高兴得有些手足无措的走来走去,过了一会之后才平复下激动的心情。

“我们去见黄总工。”

思维社总部。

黄安国等人一下车便急匆匆来到二楼。

“黄司长,这些天检测得如何”

“我们的专家组已经检验完毕,准生证过几天就下来。”黄安国说完拿起茶杯喝了一大口。

呼!

“这些真是麻烦各位了,我就以茶代酒。”黄明哲微笑拿起茶杯说道。

“黄总工客气了,都是分内之事。”专家组组长也不敢居功自傲。

黄安国迫不及待的继续说道:“黄总工,神光仪器的光刻机可以量产了没有”

“量产当然是要量产的,不过暂时没有订单,我们这个生意也是看锅下米。”黄明哲笑着回道。

众人也明白这个情况,毕竟光刻机这种东西一看就不是便宜货,总不能生产之后放仓库等人来买吧!

这要是有什么意外,或者不可抗力,岂不是烂在自己手里。

“那不知道X射线光刻机的售价是多少”黄安国接着问道。

“15亿一台。”黄明哲脸不红心不跳的说道。

15亿这个价格只能说高,但是可以接受,毕竟阿斯麦公司的顶级光刻机也是1.2亿美刀左右,关键是人家不卖给华国公司。

而神光仪器的光刻机在精度上可以通用10~2纳米,这就是一个巨大的优势。

和阿斯麦今年刚刚量产的顶级极紫外光光刻机进行比较。

阿斯麦顶级光刻机:光源——极紫外光(波长13.7纳米),可以进行调整设备,实现13.7~7纳米光刻工艺,生产效率是每小时加工10块300毫米的晶圆(硅片)。

神光X射线光刻机:光源——X射线(波长8纳米),可以进行调整设备,实现10~2纳米光刻工艺,生产效率是每小时加工150块200毫米的晶圆(硅片)。

为什么神光X射线光刻机的硅片用200毫米(8寸片),倒不是不能使用300毫米(12寸片),主要是国内目前可以大规模量产的硅片,以200毫米为主。

从硅片加工速度来看,神光是阿斯麦的7.5倍。

而黄明哲也没有打算让神光X射线光刻机以最强状态出售,硅片规格可以升级、光刻胶可以升级、加工精度可以升级,慢慢挤牙膏才可以利益最大化。

黄安国和黄明哲交换了一些意见之后,便连忙匆匆忙忙赶回北平。

……

2月20日。

工信部官网公布了三条信息,如同一颗核弹砸入平静的湖面上。

[关于批准神光仪器公司神光1X射线光刻机生产的公告]

[关于减免神光仪器公司2013年~2015年税收的公告(国税总局)]

[关于国内企业购买神光1X射线光刻机的补贴的公告(商务部、财政部)]

显然这些信息透露出一个非常重大信息,那就是华国的光刻机技术获得突破性进展。

各大官媒、网媒立马抓住机会,大书特书起来。

一时间全国各地都知道这件事,普罗大众不过当做一个茶余饭后的谈资,但是在相关从业者的眼中,这不亚于罗布泊的蘑菇云。

中芯国际。

总裁办公室。